1、靶材密度，這個(gè)是較主要的，好的靶密度至少達到97%以上，所以大家買(mǎi)回靶來(lái)以后可以根據重量體積來(lái)計算一下，靶的密度和理論塊體的密度的比例有多少，低于90%不符合標準。
2、開(kāi)裂問(wèn)題，套磁靶很容易開(kāi)裂，所以大家一定要求用cu的背板，這個(gè)是必須的，另外靶材不宜太厚，小于5mm較好了。金屬靶是不大會(huì )開(kāi)裂的，否則它的密度肯定很差。
3、電導率對于A(yíng)ZO，ITO靶材來(lái)說(shuō)非常重要的，買(mǎi)回來(lái)可以測測他們的電導率是多少，不同公司用的粉不同，電導率有很大差別，電阻率越小做出來(lái)的膜導電性肯定越好。