超純水的整個(gè)工藝流程是先經(jīng)過(guò)預處理，然后加藥殺毒，再經(jīng)過(guò)RO反滲透系統，再使用離子交換混床或者EDI設備制取超純水。     由于超純水對水質(zhì)的BOD和TOC等物質(zhì)的含量要求比較高，所以一般會(huì )采取二級反滲透，后面的工藝比則采取離子交換混床或者EDI的技術(shù)。        離子交換混床是通過(guò)離子交換樹(shù)脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的，可去除水中的各種陰、陽(yáng)離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽(yáng)離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過(guò)離子交換柱時(shí)，水中的陽(yáng)離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽(yáng)樹(shù)脂的氫根離子和陰樹(shù)脂的氫氧根離子進(jìn)行交換，從而達到脫鹽的目的。陽(yáng)、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達到更高的要求。     離子交換法是目前國內外制水行業(yè)普遍采用的較為理想的方法，也是較經(jīng)濟有效地化學(xué)法之一，離子交換是一種用陰陽(yáng)交換樹(shù)脂對離子的選擇性及平衡反應原理，去除水中電解質(zhì)離子的技術(shù)。其特點(diǎn)是利用離子交換樹(shù)脂在水中和鈣、鎂及鈉離子接觸交換，從而得到優(yōu)質(zhì)純水及高純水，水質(zhì)安全可靠，是一套完整成熟的制水工藝，現廣泛為廣大用戶(hù)認可。     EDI作為制取超純水的設備，作為反滲透設備后的二次除鹽設備，可以制取出高達10-18.2MΩ.CM。EDI設備無(wú)需化學(xué)藥劑的再生，可以連續運行。在具體的應用中，僅調節EDI的運行電流就可以改變其出水水質(zhì)。因此廣泛用于微電子工業(yè)，半導體工業(yè)，發(fā)電工業(yè)，制藥行業(yè)和實(shí)驗室。也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、發(fā)電廠(chǎng)的鍋爐的補給水，以及其它應用超純水。     連續電除鹽（EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization），是利用混和離子交換樹(shù)脂吸附給水中的陰陽(yáng)離子，同時(shí)這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過(guò)陰陽(yáng)離子交換膜而被除去的過(guò)程。這一過(guò)程離子交換樹(shù)脂是電連續再生的，因此不需要使用酸和堿對之再生。這種新技術(shù)可以替代傳統的離子交換裝置，生產(chǎn)出高達18M-CM的超純水。又可以比較清晰地描述：EDI是利用陰、陽(yáng)離子膜，采用對稱(chēng)堆放的形式，在陰、陽(yáng)離子膜中間夾著(zhù)陰、陽(yáng)離子樹(shù)脂，分別在直流電壓的作用下，進(jìn)行陰、陽(yáng)離子交換。而同時(shí)在電壓梯度的作用下，水會(huì )發(fā)生電解產(chǎn)生大量H+和OH-，這些H+和OH-對離子膜中間的陰、陽(yáng)離子不斷地進(jìn)行了再生。由于EDI不停進(jìn)行交換——再生，使得純水度越來(lái)越高，所以，輕而易舉的產(chǎn)生了高純度的超純水。     EDI技術(shù)是由電滲透和離子交換有機結合形成的一種新型膜分離技術(shù)。借助離子交換樹(shù)脂的離子交換作用與陰、陽(yáng)離子交換膜對陰、陽(yáng)離子的選擇性透過(guò)作用，在直流電場(chǎng)的作用下，實(shí)現離子定向遷移，從而完成水的深度除鹽。由于離子交換、離子遷移及離子交換樹(shù)脂的電再生相伴發(fā)生，猶如一個(gè)邊工作邊再生的混床離子交換樹(shù)脂柱，可以連續不斷地制取高質(zhì)量的純水、高純水，因而又稱(chēng)連續去離子（continuous deionization,簡(jiǎn)稱(chēng)CDI）。