精密光學(xué)電子束蒸發(fā)鍍膜機    我公司生產(chǎn)的自動(dòng)光學(xué)真空鍍膜機具有石英晶體膜厚自動(dòng)控制及光學(xué)膜厚自動(dòng)控制兩種方式,通過(guò)PLC和工控機聯(lián)合實(shí)現對整個(gè)鍍膜過(guò)程的全程自動(dòng)控制,包括真空系統,烘烤系統,蒸發(fā)過(guò)程和膜層厚度的監控功能,可實(shí)現無(wú)人值守的自動(dòng)控制,從而提高了工作效率和保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性和穩定性.應用范圍：    該設備采用e型電子槍蒸發(fā)源，可蒸發(fā)各種高熔點(diǎn)金屬和氧化物，可在玻璃，塑料,陶瓷基體上鍍制各種多層薄膜,如:紅外膜,寬帶增透膜,分光膜 ,冷光膜，IR-CUT膜，干涉截止濾光片，偏振膜,電學(xué)膜， 適用于眼鏡，光學(xué)鏡頭，精密光學(xué)元件，激光和電子行業(yè)的大規模工業(yè)生產(chǎn)。主要特點(diǎn)：1 電子槍輸出功率穩定，特殊結構設計有效杜絕二次電子的產(chǎn)生和電子槍打火。2 轉動(dòng)采用磁流體引入,長(cháng)期運轉密封可靠。3 工件轉動(dòng)座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠，徑向和軸向跳動(dòng)3-5mm。4 采用PLC+觸摸屏控制, 多重泵閥水電互鎖互保護，可全程自動(dòng)控制,包括真空系統,烘烤系統,整個(gè)蒸發(fā)鍍膜過(guò)程。 5 安裝采用全程四極質(zhì)譜監控和氦質(zhì)譜檢漏, 真空密封性好, 設備工藝穩定可靠。6 所有零部件采用國內知名廠(chǎng)家, 電器元件采用進(jìn)口或合資企業(yè)產(chǎn)品, 設備24小時(shí)連續長(cháng)期運行可靠穩定?；緟担?. 立式前開(kāi)門(mén)結構，不銹鋼真空室Φ2050X1650mm2. 極限真空：1×10-4Pa（空載清潔真空系統，300°烘烤后）3. 恢復真空時(shí)間：大氣至4×10-3Pa≤15min。4. 大抽速主泵，DPM-28A型擴散泵（22000L/s）兩臺，配備防湍流裝置。5. 工件轉動(dòng)：采用磁流體密封轉動(dòng)裝置，轉動(dòng)座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩可靠。6. 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點(diǎn)控溫,烘烤溫度≤350°。7. 永磁E型電子槍?zhuān)瑯尮β?0KW/支；可配置單槍或雙槍?zhuān)嘌ㄛ釄搴铜h(huán)形坩堝。 8. 配備美國Inficon公司生產(chǎn)的SQC310C 或IC6型石英晶體膜厚控制儀。9. 10英寸觸摸屏和歐姆龍（PLC）編程控制器，對設備真空系統、蒸發(fā)源系統、烘烤系統、工件轉動(dòng)系統、膜厚監控系統等進(jìn)行監測和控制，可采用自動(dòng)和手動(dòng)兩種模式。10. 可選配Φ16CM的離子源或深冷低溫冷阱。王生：/