1）： 采用工控機 PLC 掃碼控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠(chǎng)MES系統相連接 2）： 適用于多種規格尺寸硅片腐蝕清洗，同一套設備可編程多套運行軟件 3）： 根據工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動(dòng)、旋轉、循環(huán)過(guò)濾等功能 4）： 全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配、補液，保證了操作的安全穩定性 5）： 高速移裁機械手，伺服驅動(dòng)控制，保證運行平穩，定位可靠 6）： 采用全部知名電氣元件